虽然纳秒紫外激光相较于传统的模切方式更前进了一步,但在实际应用过程中仍存在一些问题: 1.激光的光子能量在达到或高于材料化学键的键能的同时,其能量密度亦达到材料的热损伤阈值,当激光与材料相互作用时,已不仅只是光化学作用,还存在光热转换及传递过程,随着热量的产生和积累,材料温度不断上升,研究表明,当 PI 材料温度高于600℃时,相对于 C元素,N和O两种元素的比例会不断减小,最终材料中主要以C元素为主,即材料发生碳化,碳化的材料极易造成线路间的短路,尤其是微短路,不仅给产品维修检测带来很大困难,而且影响产品合格率,虽然在实际应用过程中可通过优化工艺参数减小碳化的程度,但仍难做到绝对的保障。下图为使用纳秒紫外激光器工艺做的厚度分别为 0.5mil和1mil的 PI膜开窗的图例,在 50 倍放大状态下,可见有轻微碳化现象; 2.目前市面上的纳秒紫外激光器的脉冲宽度均为纳秒级别,其单个脉冲持续时间为10-9S,根据材料吸收激光能量转化为热能的扩散距离公式 L = [4Dt]1/2,其中 D为材料热扩散率,t为激光脉冲宽度,由此可知当材料一定时,激光脉冲宽度越大,激光产生的热能在材料上的扩散距离越大,也就是说对材料的热损伤越大,当在加工高密度孔时,极易导至孔与孔之间 PI材料的热变形,甚至是熔断。
与纳秒紫外激光相比,皮秒紫外激光具有以下优点: 1.激光脉冲宽度更窄,仅为 10-12S,从上述材料吸收激光能量转化为热能的扩散距离公式可知,这将大大减小激光加工材料时的热扩散距离,降低激光对材料的热损伤; 2.因脉冲宽度变窄,激光单脉冲峰值功率成倍增加,提升了激光加工材料的能力。下图为韵腾激光实验室使用皮秒紫外激光器工艺做的厚度分别为 0.5mil和1mil的 PI膜开窗的图例,将切样在 50倍放大状态下观察,PI 覆盖膜切割后边缘很平整,下层环氧树酯以及PI 材料本身未见有碳化现象。
经过上述试验,我们得出皮秒紫外激光相比纳秒紫外激光在 PI 覆盖膜开窗上加工质量更好,适合高品质的加工需求。激光工艺的选择取决于产品的品质要求,在保证质量的前提下,低价格段对应的激光工艺是最合理的选择。